Микролитография » Мир Книг - Библиотека электронных книг
27  мая
Микролитография
 (голосов: 0)
Добавил Palladin в категорию Учебная литература

Микролитография

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.

Название: Микролитография
Автор: Моро У.
Издательство: Мир
Год: 1990
Страниц: 1237
Формат: pdf
Размер: 85 Мб
Язык: русский
Качество: хорошее

Загрузить книгу Микролитография


Купить эту книгу в бумажном исполнении с доставкой



Комментарии (0) Просмотры: 295

Расскажи о книге друзьям :




Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.