Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе » Мир Книг - Библиотека электронных книг
25  сен
Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
 (голосов: 0)
Добавил Palladin в категорию Наука и техника

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.

Название: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Издательство: Энергия
Год: 1979
Страниц: 88
Формат: pdf
Размер: 37 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский

Загрузить Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе


Купить эту книгу в бумажном исполнении с доставкой:



Комментарии (0) Просмотры: 343

Расскажи о книге друзьям :




Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.